taktowany zegar

Szybkiemu postępowi, dzięki któremu producenci wciąż podwajają szybkość układów scalonych. Dzisiejsze mikroprocesory taktowane zegarem 1 GHz zawierają do 20 mln tranzystorów i innych elementów o rozmiarach zaledwie 140 nm (chodzi tu o długość bramki tranzystorów polowych. Ich wytwarzanie wiąże się z zastosowaniem litografii optycznej korzystającej ze źródła światła o fali 248 nm. Światło przechodzi przez szklaną maskę (rodzaj kliszy z rysunkiem elementów obwodu i pada na płytkę krzemową pokrytą fotorezystem warstwą substancji organicznej (żywicy, która utwardza się pod wpływem światła. Im krótsza fala światła przechodzącego przez maskę, tym mniejsze mogą być rozmiary elementów układu scalonego. Niestety, wykonanie metodą litografii optycznej ostrego rysunku elementów o rozmiarach mniejszych niż 100 nm to zupełnie inna zabawa..